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光電輪廓儀的應用範圍很廣，它主要用於測量各種精密加工零件表麵的微觀三維結構，如表麵粗糙度；零件表麵的刻線；刻槽的深度和鍍層的厚度等。具體地說，如量塊、光學零件表麵的粗糙度；標尺、度盤的刻線深度；光柵的槽形結構；鍍層厚度和鍍層邊界處的結構形貌；磁（光）盤、磁頭表麵結構測量；矽片表麵粗糙度及其上圖形結構測量等等。
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